集成电路芯片用的气体及其应用概述

摘要：集成电路芯片制造过程中，气体扮演着至关重要的角色。本文主要概述了集成电路芯片制造中所需气体的种类、特性及其在制造过程中的应用。这些气体包括腐蚀性气体、惰性气体、特种气体等，它们在薄膜沉积、刻蚀、掺杂等关键工艺环...

阅读全文 在森林麋了鹿 1165 次浏览 2024-12-03 校服及军训服